[发明专利]监视装置及监视方法有效
| 申请号： | 201610657881.3 | 申请日： | 2016-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN106917758B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 森山伸彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D25/06;F04D27/00;F04D29/058 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种监视装置及监视方法，能够精度更优良地监视真空泵的消耗功率。监视装置(3)包括：运算部(31)，运算磁轴承式的涡轮分子泵(TMP)的消耗功率，所述磁轴承式的涡轮分子泵(TMP)的消耗功率是将基于马达转数及马达电流值的马达(11)的消耗功率与磁轴承(12)的消耗功率相加所得；以及显示控制部(34)，使由运算部(31)运算出的涡轮分子泵(TMP)的消耗功率显示于显示部(33)。 | ||
| 搜索关键词： | 监视 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种监视装置，对利用磁轴承将转子磁悬浮支撑，并利用马达而旋转驱动的磁轴承式真空泵的消耗功率进行监视，所述监视装置的特征在于包括：运算部，运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率，所述磁轴承式真空泵的消耗功率是将基于马达转数及马达电流值的所述马达的消耗功率与所述磁轴承的消耗功率相加所得；以及显示控制部，使由所述运算部运算出的所述磁轴承式真空泵的消耗功率显示于显示装置，所述磁轴承式真空泵还包括加热器，所述运算部基于所述加热器的导通断开状态来运算加热器消耗功率，将所述加热器消耗功率、所述马达的消耗功率及所述磁轴承的消耗功率相加而运算所述磁轴承式真空泵的消耗功率。
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