[发明专利]一种氧化镓单晶用的研磨垫及其制备方法有效
| 申请号： | 201610649903.1 | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106272035B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 黄传锦;周海;顾斌;徐晓明;龚凯 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24;B24D18/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 224051 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化镓单晶用的研磨垫及其制备方法。该研磨垫由下而上依次包括研磨垫布基和混合磨粒胶层，所述混合磨粒胶层由树脂胶、磨料与水溶性研磨助剂混合而成。选研磨垫布基；按照质量分数计称取树脂胶25%‑40%、磨料5%‑10%、水溶性研磨助剂30%‑40%、余量为去离子水；将上述材料组分按合适比例称取，依次加入树脂胶、研磨助剂和磨料、去离子水搅拌均匀得第一混合物；将第一混合物均匀喷涂于研磨垫布基表面，获得研磨垫半成品；将研磨垫半成品烘干即得成品研磨垫。本发明研磨垫可实现磨料的交替使用，提高了研磨效率高，且不会带来大的划痕。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 镓单晶用 研磨 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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