[发明专利]一种三明治式柔性电容式压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610644815.2 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106098927B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 何健;郭维;楚亚春;程丁儒 | 申请（专利权）人： | 江苏艾伦摩尔微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/08;H01L41/27 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 母秋松;董建林<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 215300江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三明治式柔性电容式压力传感器，所述柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层从下至上依次排列；所述下金属电极层包括多个电容、电极；所述上金属电极层包括多个电容、电极；所述电容包括：电容片、弯曲线、电容电极，所述电容片与多个电容电极之间通过弯曲线相连接；所述柔性基底层、柔性介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金属箔或试纸。本发明柔性性能使得该器件可以更好地适应多变化的表面结构，因而具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 柔性 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种三明治式柔性电容式压力传感器，包括：柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层，其特征在于：所述柔性基底层、下金属电极层、柔性介质层、上金属电极层从下至上依次排列；所述下金属电极层包括多个电容、电极，所述电容呈矩阵结构排列在柔性基底层顶面，所述电极呈对称结构设置在柔性基底层顶面；所述上金属电极层包括多个电容、电极，所述电容呈矩阵结构排列在柔性介质层顶面，所述电极呈对称结构设置在在柔性介质层顶面；所述电容包括：电容片、弯曲线、电容电极，所述电容片与多个电容电极之间通过弯曲线相连接；所述柔性基底层、柔性介质层均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亚胺或PET聚对苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或试纸；/n还包括牺牲层，所述柔性基底层底部设置有牺牲层，所述牺牲层周边与柔性基底层底部设置有1-10mm的空隙；所述牺牲层采用光刻胶层或镁铝层或镍铝层。/n
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