[发明专利]一种压印板、检测方法及检测装置有效
| 申请号： | 201610591504.4 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN105974731B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 关峰;姚继开;王英涛;何晓龙;周婷婷 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印板、检测方法及检测装置。其中压印板包括：第一区域和位于该第一区域周边的第二区域；所述第一区域上设置有第一压印结构，用于将目标基板产品区上的基材压印成第一膜层图形；所述第二区域设置有第二压印结构，用于将目标基板产品区周边的基材压印成第二膜层图形，所述第二膜层图形用于评估所述第一膜层图形的压印质量。本发明的方案可以通过检测第二膜层图形，来进一步评估出第一膜层图形的压印质量。由于该第二膜层图形不作为基板的产品图形，因此测量过程中，即便对第二膜层图形造成损伤也不会影响到基板产品质量，特别适用于评估纳米级别的超精细压印图形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压印 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压印板，其特征在于，包括：/n第一区域和位于该第一区域周边的第二区域；/n所述第一区域上设置有第一压印结构，用于将目标基板产品区上的基材压印成第一膜层图形；/n所述第二区域设置有第二压印结构，用于将目标基板产品区周边的基材压印成第二膜层图形，所述第二膜层图形的压印完成度用于评估所述第一膜层图形的压印质量，其中，若所述第二膜层图形的压印完成度达到目标阈值，则确定所述目标基板产品区的第一膜层图形的压印质量合格，否则确定所述目标基板产品区的第一膜层图形的压印质量不合格。/n
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