[发明专利]一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器有效
| 申请号： | 201610566514.2 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106092334B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 魏兴战;杨俊;冯双龙;申钧;周大华;汤林龙;史浩飞;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所 11308 | 代理人： | 黎昌莉 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器，包括第一氮化硅层，所述第一氮化硅层向下依次为第一碳纳米红外吸收层，第二氮化硅层，热敏电阻层和第四氮化硅层；所述第一氮化硅层、第一碳纳米红外吸收层和第二氮化硅层构成红外探测器的宽波段红外吸收复合膜；所述第四氮化硅层和金属反射层之间通过支撑桥墩形成红外吸收谐振腔；所述金属反射层位于硅衬底之上。本发明的红外探测器能够实现宽波段红外吸收增强，从而提高器件的探测灵敏度，器件结构简单，兼容MEMS工艺，适合批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化硅层 红外探测器 红外吸收层 碳纳米 红外吸收 金属反射层 宽波段 热敏电阻层 探测灵敏度 器件结构 复合膜 硅衬底 谐振腔 桥墩 兼容 支撑 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器，其特征在于，包括第一氮化硅层，所述第一氮化硅层向下依次为第一碳纳米红外吸收层，第二氮化硅层，热敏电阻层和第四氮化硅层；所述第一氮化硅层、第一碳纳米红外吸收层和第二氮化硅层构成红外探测器的宽波段红外吸收复合膜；所述第四氮化硅层和金属反射层之间通过支撑桥墩形成红外吸收谐振腔；所述金属反射层位于硅衬底之上；所述热敏电阻层与第四氮化硅层之间，从上自下还依次设置了第三氮化硅层，第二碳纳米红外吸收层；所述第三氮化硅层、第二碳纳米红外吸收层和第四氮化硅层在作为支撑层的同时，另外构成红外探测器的宽波段红外吸收复合膜。
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