[发明专利]一种直拉单晶炉在审
| 申请号： | 201610559541.7 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106087036A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 卜庆宝 | 申请（专利权）人： | 保山新澳泰能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京国智京通知识产权代理有限公司 11501 | 代理人： | 孙文彬 |
| 地址： | 678100 云南省保*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉单晶炉，包括炉体，炉体包括炉座和炉腔，炉腔设置在炉座上，所述炉体内设有加热装置和直拉成型装置，加热装置包括石英坩埚、石墨坩埚、加热器和石墨电极，石墨坩埚包裹在石英坩埚的外侧，加热器设置在石墨坩埚的外侧，石墨电极设置在加热器的底端，直拉成型装置包括竖直设置的籽晶轴和坩埚轴，籽晶轴设置在石英坩埚的上方，坩埚轴设置在石英坩埚的底部，籽晶轴的上方设有与籽晶轴相连接的籽晶轴驱动装置，坩埚轴的底部设有坩埚轴驱动装置，生产效率高，易于制备大直径硅单晶，并且晶体生长速度快、晶体的纯度和完整性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉单晶炉 | ||
【主权项】：
一种直拉单晶炉，包括炉体，炉体包括炉座和炉腔，炉腔设置在炉座上，其特征在于，所述炉体内设有加热装置和直拉成型装置，加热装置包括石英坩埚、石墨坩埚、加热器和石墨电极，石墨坩埚包裹在石英坩埚的外侧，加热器设置在石墨坩埚的外侧，石墨电极设置在加热器的底端，直拉成型装置包括竖直设置的籽晶轴和坩埚轴，籽晶轴设置在石英坩埚的上方，坩埚轴设置在石英坩埚的底部，籽晶轴的上方设有与籽晶轴相连接的籽晶轴驱动装置，坩埚轴的底部设有坩埚轴驱动装置。
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