[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种光学位置测量装置。该光学位置测量装置一方面包括整体量具，其沿着测量方向延伸并且具有增量分度以及绝对编码。另一方面设有扫描单元，其相对于整体量具沿着测量方向可相对移动地设置并且具有光源、用于光学扫描增量分度的扫描网格以及检测器装置。检测器装置包括用于从增量分度的光学扫描中产生增量信号的增量检测器以及用于从绝对编码的光学扫描中产生绝对信号的绝对检测器；增量检测器和绝对检测器设置在共同的检测平面中。检测平面具有距扫描网格的限定的标准间距和/或将增量检测器上的条形图案的周期性选择成，使得在整体量具和/或扫描网格的区域中进行散射的污染物中增量信号和绝对信号的幅度均匀地衰减。

主权项

1.一种光学位置测量装置，用于绝对位置确定，所述光学位置测量装置具有整体量具，所述整体量具沿着测量方向延伸并且具有至少一个增量分度和绝对编码，以及扫描单元，所述扫描单元相对于所述整体量具沿着所述测量方向能相对移动地设置并且具有光源、用于光学扫描所述增量分度的扫描网格以及检测器装置，所述检测器装置包括用于从所述增量分度的光学扫描中产生增量信号的增量检测器以及用于从所述绝对编码的光学扫描中产生绝对信号的绝对检测器，并且所述增量检测器和所述绝对检测器设置在共同的检测平面中，所述检测平面具有距所述扫描网格的限定的标准间距，和/或将所述增量检测器上的条形图案的周期性选择成，使得在所述整体量具和/或所述扫描网格的区域中的进行散射的污染物的情况中，所述增量信号的幅度和所述绝对信号的幅度均匀地衰减。