[发明专利]一种超声波精密封接装置及方法

摘要

本发明公开一种超声波精密封接装置及方法，包括超声波发生器、超声波换能器、超声波工具头、施加压力机构、封接工作台、数据处理单元及控制单元；控制单元控制驱动电机控制超声波工具头沿运动导轨运动；压电加速度传感器用于检测被加工器件底面的振动信息，压电式动态压力传感器用于检测被加工器件所受动态压力；数据采集卡用于采集压电加速度传感器检测的振动信息和压电式动态压力传感器检测的动态压力；控制单元根据数据采集卡传输的数据信息控制驱动电机和超声波发生器工作；控制单元控制超声波发生器发射的不同振幅的超声波。该装置及方法能够对微器件表面存在的误差进行自适应补偿，提高了封接质量的一致性，提高了封接精度。

主权项

一种超声波精密封接装置，包括超声波发生器、超声波换能器、超声波工具头、施加压力机构、封接工作台、数据处理单元及控制单元；其特征在于，所述超声波发生器与所述超声波换能器相连接，所述超声波工具头与所述超声波换能器相连接；所述施加压力机构包括与所述超声波工具头相连接的驱动电机、运动导轨，所述控制单元控制所述驱动电机控制所述超声波工具头沿所述运动导轨运动；所述封接工作台上依次设有压电加速度传感器和压电式动态压力传感器，所述压电加速度传感器用于检测被加工器件底面的振动信息，所述压电式动态压力传感器用于检测被加工器件所受动态压力；所述数据处理单元包括数据采集卡，所述数据采集卡用于采集所述压电加速度传感器检测的振动信息和所述压电式动态压力传感器检测的动态压力；所述数据采集卡与所述控制单元相连接，所述控制单元根据所述数据采集卡传输的数据信息控制所述驱动电机和所述超声波发生器工作；所述控制单元与所述超声波发生器相连接，用于控制所述超声波发生器发射的不同振幅的超声波；所述控制单元根据所述振动信息和所述动态压力实时控制所述超声波发生器发出的振幅的大小；控制单元的控制方式是以逐渐递增的方式调整超声波振幅。