[发明专利]一种基于钼基底的电子控制栅网及制备方法在审
| 申请号： | 201610538546.1 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN106847651A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 王鹏康;李金晶;苏静;周秋君;朱刚 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | H01J23/02 | 分类号： | H01J23/02;H01J9/14 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 241002 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于钼基底的电子控制栅网的制备方法，包括如下步骤a)将钼基毛坯片放入900～950℃氢炉内退火，保温3～5分钟；b)将所述步骤a)制得的钼基毛坯片放入特制模具冲压栅网呈球面形状；c)将所述步骤b)冲压好的钼基球面栅网毛坯片放入900～950℃氢炉内退火，保温20～25分钟；d)将所述步骤c)冲压好的钼基球面栅网毛坯片，采用电火花精密加工一次成型三环多轮辐栅网结构；e)将所述步骤d)制得的钼基三环多轮辐栅网放入1000～1100℃氢炉内退火定型，保温5～10分钟；f)将所述步骤e)制得钼基三环多轮辐栅网进行化学去油清洗；g)将所述步骤f)制得的钼基三环多轮辐栅网放置于电解溶液中进行电解抛光后获得电子控制栅网。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 基底 电子 控制 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于钼基底的电子控制栅网，其特征在于，采用三环多轮辐球面形状结构。
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