[发明专利]一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201610530485.4 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106191791A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王启民;耿东森;黎海旭;代伟;王成勇 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层，由CrN过渡层和CrAlSiON功能层组成，采用多弧离子镀技术，通过改变工艺参数来获取不同成分的涂层。本发明将氧元素引入至CrAlSiON纳米复合涂层，通过沉积条件的改变来控制氧在涂层中的存在形式，使涂层中预先形成一种或多种摩擦系数低、耐磨损的氧化物，在提高涂层结合力和降低应力的同时，降低了涂层高温条件下的摩擦系数，改善涂层抗摩擦磨损性能和热稳定性能，使得涂层更适用于更苛刻的应用环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 摩擦 cralsion 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层，其特征在于：由CrN过渡层和CrAlSiON功能层组成；CrN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Cr:55～75at.％，N:25～45at.％；CrAlSiON功能层中各元素的原子百分比含量为：Al:20～35at.％，Cr:10～20at.％，Si:2～12at.％，O:5～43at.％，N:10～53at.％。
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