[发明专利]一种N型双面电池的制造方法

摘要

本申请公开了一种N型双面电池的制造方法，包括对硅片进行清洗和表面制绒；在所述硅片的正面和背面进行硼扩散，形成正面硼扩层和背面硼扩层，所述正面硼扩层的表面为硼硅玻璃；在所述硅片的正面制备SiNx掩膜；刻蚀掉所述SiNx掩膜和所述背面硼扩层；利用所述硼硅玻璃对所述硅片正面形成保护，在所述硅片的背面进行磷扩散，形成背面磷扩层，所述背面磷扩层的表面为磷硅玻璃；刻蚀掉所述硼硅玻璃和所述磷硅玻璃；在所述硅片的正面和背面制备SiNx钝化膜，并分别制备前电极和背电极。上述方法能够减少HF刻蚀的时间，避免了背面多孔硅的形成，从而有效降低电池背面的复合从而提高电池的并联电阻和开路电压，提高电池效率。

主权项

一种N型双面电池的制造方法，其特征在于，包括：对硅片进行清洗和表面制绒；在所述硅片的正面和背面进行硼扩散，形成正面硼扩层和背面硼扩层，所述正面硼扩层的表面为硼硅玻璃；在所述硅片的正面制备SiNx掩膜；刻蚀掉全部的所述SiNx掩膜和所述背面硼扩层；利用所述硼硅玻璃对所述硅片正面形成保护，在所述硅片的背面进行磷扩散，形成背面磷扩层，所述背面磷扩层的表面为磷硅玻璃；刻蚀掉所述硼硅玻璃和所述磷硅玻璃；在所述硅片的正面和背面制备SiNx钝化膜，并分别制备前电极和背电极。