[发明专利]一种硅片清洗工艺在审
| 申请号： | 201610514384.8 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107552481A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 崔敏娟 | 申请（专利权）人： | 崔敏娟 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 214177 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片清洗工艺，包括以下步骤a、将硅片放入装有柠檬酸溶液的超声波清洗机中清洗；b、将步骤a清洗后的硅片放入装有去离子水的超声波清洗机中清洗；c、将步骤b清洗后的硅片放入烘箱进行干燥。所述一种硅片清洗工艺能够有效的去除附着在硅片表面的杂质，确保硅片表面的清洁度，从而大大提高了成品率，有效保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗工艺，其特征在于：包括以下步骤：a、将硅片放入装有柠檬酸溶液的超声波清洗机中清洗；b、将步骤a清洗后的硅片放入装有去离子水的超声波清洗机中清洗；c、将步骤b清洗后的硅片放入烘箱进行干燥。
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