[发明专利]多晶硅生长电流自动控制方法和装置

摘要

本发明提供一种多晶硅生长电流自动控制方法，包括如下步骤：将从多晶硅开始进料至反应结束停止进料的全过程划分为三个时段，分别为第一至第三时段；在第一时段内，预设目标温度曲线，根据实际温度控制给定电流的输出，以使实际温度接近目标温度；在第二时段内，预设给定电流曲线，并按照给定电流曲线控制给定电流的输出；在第三时段内，预设给定电流值，并控制给定电流恒定地输出该预设的给定电流值。相应地，还提供一种多晶硅生长电流自动控制装置。本发明能够自动控制多晶硅生长电流，从而减少甚至避免了人为操作，而且重复性高，能够适应不同的工况和参数，易于调整和改进。

主权项

1.一种多晶硅生长电流自动控制方法，其特征在于，包括如下步骤：将从多晶硅开始进料至反应结束停止进料的全过程划分为三个时段，分别为第一至第三时段；在第一时段内，预设目标温度曲线，根据实际温度控制给定电流的输出，以使实际温度接近目标温度；所述目标温度曲线由x段依次首尾相连的线段来表示，其中的时间点分别为t₀,t₁,t₂,……,t_x‑1,t_x，依次对应的目标温度值分别为T₀,T₁,T₂,……,T_x‑1,T_x，则目标温度曲线的表达式如下：其中，i＝0,1,2,……,x‑1；1≤x≤30；T为目标温度，t为时间；t₀＝0，t_x＝A1，T_x＝T_A1，A1为第一时段结束的时间点；t₁,t₂,……,t_x‑1,A1,T₀,T₁,T₂,……,T_x‑1,T_A1均为常数，t₀≠t₁≠t₂≠……≠t_x‑1≠t_x；在第二时段内，预设给定电流曲线，并按照给定电流曲线控制给定电流的输出；所述给定电流曲线由y段依次首尾相连的线段来表示，其中的时间点分别为t₀',t₁',t₂',……,t_y‑1',t_y'，依次对应的给定电流值分别为I₀,I₀+ΔI₁,I₀+ΔI₂,……,I₀+ΔI_y‑1,I₀+ΔI_y，则给定电流曲线的表达式如下：其中，j＝0,1,2,……,y‑1；1≤y≤30；I为给定电流；t'为时间；t₀'＝A1，t_y'＝A2，I₀＝I_A1，A1为第二时段开始的时间点，I_A1为第A1小时对应的给定电流值，A2为第二时段结束的时间点；A1,t₁',t₂',……,t_y‑1',A2,I_A1,ΔI₀,ΔI₁,ΔI₂,……,ΔI_y‑1,ΔI_y均为常数，t₀'≠t₁'≠t₂'≠……≠t_y‑1'≠t_y'；在第三时段内，预设给定电流值，并控制给定电流恒定地输出该预设的给定电流值；在第三时段内，所述预设的给定电流值为第二时段结束的时间点对应的给定电流值。