[发明专利]一种杂质清除设备

摘要

本发明公开了一种杂质清除设备，包括清除管道和设于该清除管道一端的清除部件；清除管道包含内管和外管，且内管与外管之间具有空隙；清除部件包含喷头、及围绕在该喷头外侧的真空罩，且真空罩与喷头之间留有空隙；喷头与内管密封连接，内管中输送的清除气体从所述喷头中喷出，真空罩与外管密封连接，且真空罩与喷头之间的空隙，连通于内管和外管之间的空隙，以将清除气体吸除。内管输送清除气体，并从喷头中喷出，将使得沉积于基座上的particle被吹离基座表面，在外管道的吸除作用下，被吹离基座表面的particle将从真空罩与喷头之间的空隙处被外管道吸出，从而，有效地将真空腔室内基座上的particle吸除。

主权项

1.一种杂质清除设备，其特征在于，所述杂质清除设备包括清除管道和设于该清除管道一端的清除部件；所述清除管道包含内管和外管，所述内管与外管之间具有空隙；所述清除部件包含喷头、及围绕在该喷头外侧的真空罩，所述真空罩与所述喷头之间留有空隙；所述真空罩用于在清除杂质时，扣接在附有杂质的基座上；所述喷头与所述内管密封连接，所述内管中输送的清除气体从所述喷头中喷出；所述真空罩与所述外管密封连接，所述真空罩与所述喷头之间的空隙，连通于所述内管和外管之间的空隙，以将所述清除气体吸除。