[发明专利]一种可分离旋转驱动机构及晶圆上下料平台有效
| 申请号： | 201610487506.9 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107546165B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王宏玉;徐方;李学威;边弘晔;何书龙;管莉娜;吴琼 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了可分离旋转驱动机构，包括：磁流体；驱动电机，所述磁流体的下端与驱动电机连接；导向驱动机构；固定螺钉，所述固定螺钉的底部固定在所述磁流体上；弹性部件；所述弹性部件的下端抵靠在所述磁流体上，所述弹性部件的上端抵靠在所述导向驱动机构上，当所述导向驱动机构位于驱动位置时，所述弹性部件为所述导向驱动机构提供向上的弹力。本发明还提供了一种晶圆上下料平台。本发明提供的可分离旋转驱动机构，当大负载机械手臂的被驱动机构下降到导向驱动机构所在位置时，能够与导向驱动机构相结合，使得弹性部件被压缩，给导向驱动机构提供一个向上的弹力；此时，被驱动机构和导向驱动机构能够很好的紧密结合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可分离 旋转 驱动 机构 上下 平台 | ||
【主权项】：
1.一种可分离旋转驱动机构，其特征在于，包括：磁流体，所述磁流体的上端设置有磁流体轴；驱动电机，用于驱动所述磁流体轴旋转，且所述磁流体的下端与驱动电机连接；导向驱动机构，所述导向驱动机构套设在所述磁流体轴外，并可在所述磁流体轴的带动下旋转；固定螺钉，所述固定螺钉的底部固定在所述磁流体上，并将所述导向驱动机构限位在所述固定螺钉的螺帽与所述磁流体之间，所述导向驱动机构可沿着所述磁流体轴在竖直方向上的自由位置和驱动位置之间往复运动；弹性部件，所述弹性部件套设在所述固定螺钉外；所述弹性部件的下端抵靠在所述磁流体上，所述弹性部件的上端抵靠在所述导向驱动机构上，当所述导向驱动机构位于驱动位置时，所述弹性部件为所述导向驱动机构提供向上的弹力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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