[发明专利]防串扰的红外探测器像元结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201610480948.0 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN106006540B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,尹英 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防串扰的红外探测器像元结构及其制备方法，包括位于一硅衬底上，其具有红外探测结构，位于红外探测结构下方的硅衬底表面具有底部反射层，底部反射层的边缘具有凸起；底部反射层用来反射入射光，凸起用来反射进入到像元结构侧面的入射光，从而有效的避免入射光进入其它像元结构中而引起像元之间的串扰。 | ||
| 搜索关键词： | 防串扰 红外探测器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种防串扰的红外探测器像元结构，位于一硅衬底上，其具有红外探测结构，其特征在于，位于所述红外探测结构下方的所述硅衬底表面具有底部反射层，所述底部反射层具有主体和边缘，底部反射层的边缘具有凸起；所述凸起作为所述底部反射层的边缘封闭环绕所述主体；所述凸起呈中心对称图形；所述红外探测结构两端下方连接有导电支撑柱，所述底部反射层的凸起的侧壁与所述导电支撑柱的侧壁之间具有间距；导电支撑柱位于底部反射层的凸起的外侧且底部反射层的凸起位于红外探测结构下方的所有导电支撑柱之间。
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