[发明专利]可侦测基板完整性的卡匣结构和侦测基板完整性的方法

摘要

本发明提供了一种可侦测基板完整性的卡匣结构和侦测基板完整性的方法。所述可侦测基板完整性的卡匣结构包括外框、支撑部件、侦测单元和信号处理单元，所述支撑部件间隔设置于所述外框上以限定用于承载基板的容置空间，所述侦测单元设置于至少部分支撑部件上并产生表示基板完整性的感应信号，所述信号处理单元与所述侦测单元连接并对所述感应信号进行处理，以实现对卡匣结构中基板的完整性的检测，可有效避免不完整的基板进入下一工序对生产效率和生产安全性造成威胁。

主权项

1.一种可侦测基板完整性的卡匣结构，包括外框和支撑部件，所述支撑部件间隔设置于所述外框上以限定用于承载基板的容置空间，其特征在于，所述卡匣结构还包括侦测单元和信号处理单元，所述侦测单元设置于至少部分支撑部件上并产生表示基板完整性的感应信号，所述信号处理单元与所述侦测单元连接并对所述感应信号进行处理，以实现对卡匣结构中基板的完整性的检测；所述基板完整性的检测包括破片以及基板出现裂纹的检测；所述侦测单元包括可用以检测基板是否存在破片的压力侦测单元和可用以检测基板是否存在裂纹的光学侦测单元；所述压力侦测单元设置于所述支撑部件承载基板的表面上；当所述支撑部件上的压力侦测单元所受压力值在预设数值范围内时，确定所述支撑部件上承载的基板没有破片；当所述支撑部件上的压力侦测单元所受压力值超出预设数值范围时，确定所述支撑部件上承载的基板存在破片；所述光学侦测单元包括光发射部件和光接收部件，所述光发射部件用于向所述光接收部件发射检测光线，同一光学侦测单元的光发射部件和光接收部件设置于相邻的两个支撑部件上并位于同一容置空间相对的两个侧面上；当所述支撑部件上承载的基板对应的光发射部件发射的检测光线的光强与光接收部件接收到的检测光线的光强的差值小于等于一预定阈值，确定所述支撑部件上承载的基板没有出现裂纹；当所述支撑部件上承载的基板对应的光发射部件发射的检测光线的光强与光接收部件接收到的检测光线的光强的差值大于一预定阈值，确定所述支撑部件上承载的基板出现裂纹。