[发明专利]一种基于微位移测量的电流传感器

摘要

本发明公开了一种基于微位移测量的电流传感器及其制作方法，包括磁致伸缩反射面和光纤。其中制作方法包括以下步骤：选取长方形的金属玻璃(metglass)并进行清洗；在metglass上、下表面各溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；在metglass下表面溅射一层一定厚度的高反膜；在metglass下表面两端用环氧树脂各粘贴一个非磁性金属块；在两个非磁性金属块的另一端用环氧树脂粘贴一块正中带有通孔的非磁性金属板；将光纤通过一个非磁性金属管，再将它们通过非磁性金属板的孔，使光纤端面与高反膜之间保持合适的距离，这样在光纤端面与高反膜之间就形成了一个光纤法布里－珀罗干涉仪。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器灵敏度较高。

主权项

1.一种基于微位移测量的电流传感器，其特征在于，包括磁致伸缩反射面和光纤，其中：所述磁致伸缩反射面为长方形金属玻璃metglass的一个表面上生成的厚度为300～500nm的高反膜，该高反膜与基底之间，以及metglass的另一面，设置有一层厚度为1000nm～2000nm磁致伸缩薄膜；所述高反膜两端各设有一个非磁性金属块，两个金属块的另一面，固定一个尺寸与metglass对应的非磁性金属板；所述非磁性金属板的正中间设有一个通孔，用于光纤穿过；所述光纤从通孔穿入，并固定在非磁性金属板上；光纤端面精细切割，与高反膜平行且距离不大于10μm，两者构成法布里－珀罗干涉仪。