[发明专利]ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法在审
| 申请号： | 201610470115.6 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106154201A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 钭晓鸥;余琨;王华;邓维维;郝丹丹;叶建明 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法，包括：第一步骤：按照待测芯片的尺寸大小，制造与待测芯片尺寸相同的铜块；第二步骤：将铜块置于测试夹具内，夹具的各测试探针与铜块接触；第三步骤：针对各个ATE测试资源通道，采用施流测压方式和/或施压测流方式来测试并计算测量线路等效电阻；第四步骤：在测量待测信号时，将ATE测试资源通道的相应的测量线路等效电阻作为误差，从在最终测量值中去除所述误差的相关数值以得到校准后的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | ate 测量 线路 中的 阻抗 校准 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法，其特征在于包括：第一步骤：按照待测芯片的尺寸大小，制造与待测芯片尺寸相同的铜块；第二步骤：将铜块置于测试夹具内，夹具的各测试探针与铜块接触；第三步骤：针对各个ATE测试资源通道，采用施流测压方式和/或施压测流方式来测试并计算测量线路等效电阻；第四步骤：在测量待测信号时，将ATE测试资源通道的相应的测量线路等效电阻作为误差，从在最终测量值中去除所述误差的相关数值以得到校准后的测量结果。
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