[发明专利]测试装置及测试方法

摘要

一种测试装置包含载台、测试模块及驱动模块。载台适于承载待测物。测试模块包含第一探针以及第二探针。第一探针与第二探针可移动地位于载台上方。驱动模块连接于测试模块。驱动模块用以带动第一探针和第二探针相对载台移动与摆动而测试待测物。其中，于第一时间，第一探针测试待测物的第一待测位置，并且驱动模块带动第二探针移至待测物的第二待测位置。其中，于第二时间，第二探针测试待测物的第二待测位置，并且驱动模块带动第一探针自第一待测位置移至待测物的第三待测位置。

主权项

1.一种测试装置，适于对一待测物进行测试，其特征在于，该测试装置包含：一载台，适于承载该待测物；一测试模块，包含至少一第一探针以及至少一第二探针，该第一探针与该第二探针可移动地位于该载台上方，该第一探针可沿一水平方向轴向移动地位于该载台的一侧，该第二探针可沿该水平方向轴向移动地位于该载台的相对一侧，且该第一探针与该第二探针可沿一垂直方向相对载台摆动而相对靠近或远离载台；以及一驱动模块，连接于该测试模块，该驱动模块用以带动该第一探针和该第二探针相对该载台移动与摆动而测试该待测物；其中，于一第一时间，该第一探针测试该待测物的该第一待测位置，并且该驱动模块带动该第二探针移至该待测物的一第二待测位置；其中，于晚于该第一时间的一第二时间，该第二探针测试该待测物的该第二待测位置，并且该驱动模块带动该第一探针自该第一待测位置移至该待测物的一第三待测位置。