[发明专利]气泡清洗系统及方法

摘要

本发明提供了一种气泡清洗系统及方法，通过采用用于增压的气体通入清洗液容器中，从而实现对清洗液容器内加压的目的，通过采用调节PH值的气体通入清洗液溶液中，来调节清洗液溶液中清洗液的PH值，避免晶圆表面在清洗过程中产生的静电对晶圆造成的损伤，也即是调节PH值的气体具有中和晶圆表面在清洗过程中产生的静电的作用；并且，用于增压的气体进入清洗液中，使清洗液中充满气泡，这样从出水管道出来的充满气泡的清洗液喷射在晶圆上，既可以减少对晶圆表面图案的损伤，又可以提高颗粒去除效率。

主权项

1.一种气泡清洗系统，其特征在于，包括：清洗液管道，与清洗液容器相连，用于向清洗液容器中通入清洗液，清洗液管道上具有第一气动阀；清洗液容器，清洗液经清洗液管道进入清洗液容器中；清洗液容器的侧壁上从上到下依次设置有高液位传感器和低液位传感器；所述高液位传感器和所述低液位传感器分别与所述第一气动阀相电连；当所述清洗液容器中的清洗液的水位位于所述低液位传感器所在位置时，低液位传感器向第一气动阀发送开启信号，第一气动阀接收到该开启信号后自动开启，使清洗液通入清洗液容器中；当所述清洗液容器中的清洗液的水位上升到所述高液位传感器所在位置时，高液位传感器向第一气动阀发送关闭信号，第一气动阀接收到该关闭信号后自动关闭，停止向清洗液容器中通入清洗液；PH调节气体管道，与清洗液容器相连，用于向清洗液容器中通入调节PH值的气体，从而来调整清洗液容器内的清洗液的PH值；在PH调节气体管道上设置有第二气动阀；增压气体管道，与清洗液容器相连，用于向清洗液容器中通入用于增压的气体来增加清洗液容器内的压力；在增压气体管道上设置有第三气动阀；压力仪，设置在清洗液容器的顶部，与第三气动阀相电连；压力仪检测清洗液容器内的压力，通过设定清洗液容器内的压力安全范围，当所检测的压力降低且低于该压力安全范围时，向第三气动阀反馈开启信号，第三气动阀接收到反馈的开启信号后自动开启，用于增压的通入清洗液容器中，以调整清洗液容器内的压力；当所检测的压力在所述压力安全范围内或等于所述压力安全范围的最大值时，压力仪向所述第三气动阀反馈关闭信号，第三气动阀接收到反馈的关闭信号后自动关闭，停止向清洗液容器中通入用于增压的气体；泄压阀，位于清洗液容器的顶部，与压力仪相电连，当压力仪检测的清洗液容器中的压力超过所述压力安全范围时，压力仪向泄压阀发送开启信号，泄压阀接收到该开启信号后自动打开，从而减小清洗液容器中的压力；当压力仪检测的压力位于所述压力安全范围时或等于所述压力安全范围的最大值时，压力仪向泄压阀发送关闭信号，泄压阀接收到该关闭信号后自动关闭；并且，泄压阀和第三气动阀的不能同时开启；电导率与PH值测量仪，用于检测清洗液的PH值；其位于清洗液容器的侧壁下方部分，与第二气动阀相电连，通过设定清洗液容器中清洗液的PH值安全范围，当电导率与PH值测量仪所检测的清洗液的PH值低于所述PH值安全范围时，向第二气动阀发送开启信号，第二气动阀接收到该开启信号后自动开启，调节PH值的气体通入清洗液容器中，以调整清洗液的PH值；当所检测的清洗液的PH值位于所述PH值安全范围内或等于所述PH值安全范围的最大值时，电导率与PH值测量仪向第二气动阀发送关闭信号，第二气动阀接收到该关闭信号后自动关闭，停止向二氧化碳水容器中通入调节PH值的气体；出水管道，与清洗液容器相连；其中，通过向清洗液容器中通入用于增压的气体和调节PH值的气体从而使得清洗液溶液中清洗液中充满气泡；该充满气泡的清洗液从清洗液容器中出来经出水管道喷射到晶圆上。