[发明专利]一种昼夜两用分划元件的照相制作方法有效
| 申请号： | 201610444430.1 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106094239B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张成群;陈俊霞;任玉河;苏颖;陈菊意;龚涛;程萍;田军;刘海伟;张勇;白涛 | 申请（专利权）人： | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/32 | 分类号： | G02B27/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454001 河南省焦*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开一种昼夜两用分划元件的照相制作方法，该方法的步骤是：S1、在光坯制造合格后，使用可调转速的离心涂胶机，控制转速为3000r/min～4000r/min，将BN303负性光刻胶均匀的涂覆在光坯表面，前烘烘干；S2、检验照相底版精度符合要求，将涂有胶层的一面向下照相底版进行接触曝光，曝光时间120s～150s；S3、经显影、漂洗、检查、后烘烘干后，在零件侧面及涂保护蜡；S4、按照氢氟酸20%～25%、硫酸35%～40%、磷酸40%的比例配制玻璃腐蚀液；S5、将零件浸入玻璃腐蚀液中8s～15s，取出后立即用清水冲洗，经脱膜、着色、修光后检测分划图案及表面疵病等级。 1 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃腐蚀液 照相底版 昼夜两用 烘干 光坯 照相 负性光刻胶 浸入 比例配制 表面疵病 接触曝光 控制转速 离心涂胶 清水冲洗 氢氟酸 漂洗 磷酸 后烘 胶层 可调 前烘 涂覆 脱膜 显影 修光 硫酸 制作 着色 取出 图案 侧面 曝光 检测 检验 制造 检查 | ||
【主权项】：
1.一种昼夜两用分划元件的照相制作方法，其特征在于：该照相制作方法的步骤为：S1、在光坯制造合格后，使用可调转速的离心涂胶机，控制转速为3000r/min～4000r/ min，将BN303负性光刻胶均匀的涂覆在光坯表面，前烘烘干；S2、检验照相底版精度符合要求，将涂有胶层的一面向下照相底版进行接触曝光，曝光 时间120s～150s；S3、经显影、漂洗、检查、后烘烘干后，在零件侧面涂保护蜡；S4、按照氢氟酸20%～25%、硫酸35%～40%、磷酸40%的比例配制玻璃腐蚀液；S5、将零件浸入玻璃腐蚀液中8s～15s，取出后立即用清水冲洗，经脱膜、着色、修光后 检测分划图案及表面疵病等级。
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