[发明专利]一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置

摘要

一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置，包括加热元件、电炉盘和电极连接线，加热元件上面设有盖板，电炉盘底部预留若干孔洞，连接加热元件的电极连接线有陶瓷管加以保护；加热装置外部由不锈钢外罩所封闭，电炉盘下方有隔热板，隔热板上预留若干和电炉盘底部相对应的孔洞，隔热板上方外罩的侧面设有能通保护气体的不锈钢管，不锈钢管管可供氮气等保护气通入加热元件上部，对加热元件进行双重保护；本发明可实现小型MOCVD系统的高温加热，并能有效阻止高温情况下氧气等对加热元件造成的氧化和腐蚀影响，大幅提升了加热元件使用寿命，也可以屏蔽限制高温条件下加热元件的各种释放，有利于获得性能优异的沉积薄膜材料。

主权项

1.一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置，包括加热元件、电炉盘和电极连接线，加热元件上面设有盖板，电炉盘底部预留若干孔洞，连接加热元件的电极连接线有陶瓷管加以保护；加热装置外部由不锈钢外罩所封闭，电炉盘下方有隔热板，隔热板上预留若干和电炉盘底部相对应的孔洞，隔热板上方外罩的侧面设有能通保护气体的不锈钢管，不锈钢管供氮气保护气通入加热元件上部，对加热元件进行双重保护；隔热板置于不锈钢外罩内的支撑体上，电炉盘材料为氧化铝陶瓷、碳化硅或其它耐高温绝缘防火材料；电炉盘设计有若干凹槽，加热元件置于凹槽之中，且凹槽深度略大于加热元件的高度；电炉盘形状为圆形，尺寸为6‑12cm，根据衬底旋转的需要，电炉盘中心留有孔洞，孔洞直径0.5‑2.5cm；电炉盘最外侧内壁预留放置石英盖板的卡口，保证使用时石英盖板固定不动；加热元件上面盖板材料为石英或不锈钢，根据衬底旋转的需要，盖板中心留有孔洞，孔洞直径0.5‑1.5cm；盖板上方为旋转被加热平台即样品生长台，反应气体由喷淋头进气管道通入到样品平台上；隔热板上方不锈钢外罩侧面的不锈钢管数量为1‑6个，管径大小为0.3‑1.5cm。