[发明专利]一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置有效
| 申请号： | 201610439793.6 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN105862013B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朱顺明;刘松民;顾书林;叶建东;汤琨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C16/48 | 分类号： | C23C16/48 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热元件 电炉盘 隔热板 高温加热装置 孔洞 电极连接线 预留 沉积薄膜材料 氮气 不锈钢外罩 下加热元件 氧化和腐蚀 保护气体 不锈钢管 高温加热 高温条件 加热装置 使用寿命 双重保护 保护气 陶瓷管 盖板 屏蔽 不锈钢 外罩 氧气 应用 侧面 释放 封闭 外部 | ||
【权利要求书】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
