[发明专利]修复装置及修复方法

摘要

本发明公开了修复装置及修复方法，其中所述修复方法包括如下步骤：确认基板上图形的缺陷；在发生了所述缺陷的部分，涂覆比所述缺陷的面积大的油墨；对所涂覆的所述油墨进行硬化，从而形成涂覆膜；以及沿着所述涂覆膜的面积移动激光束，从而去除事先设定之设定区域的涂覆膜。由此，本发明可以迅速修复在基板上图形所产生的缺陷。

主权项

1.一种修复装置，其特征在于，包括：工作台，用于安装基板；油墨供给部，向所述基板上图形的开放式缺陷供给作为修复液的油墨，其中油墨涂覆面积比所述缺陷的面积大；激光部，照射用于硬化所述油墨的第一激光束和用于图形化被硬化之油墨以形成修复图形的第二激光束；以及移动部，支撑所述油墨供给部和所述激光部，在所述基板上使所述油墨供给部和所述激光部对于所述工作台进行相对移动；所述激光部包括：第一激光单元，用于产生第一激光束；第二激光单元，用于产生第二激光束；扫描单元，配置在所述第二激光束的移动路径上，用于调节所述第二激光束的照射角度；控制单元，反复移动第二激光束来扫描所述硬化的油墨以横跨所述硬化的油墨，以及物镜，向所述基板照射所述第一激光束或通过了所述扫描单元的所述第二激光束；所述第二激光单元包括：第二激光发生器，为了切割涂覆膜，产生第二激光束；以及第二衰减器，用于开闭在第二激光发生器所产生的第二激光束的移动路径；所述控制单元调节扫描单元，沿着所述涂覆膜反复移动第二激光束，同时利用第二衰减器在已设定区域向待切割的部分开放第二激光束的移动路径向涂覆膜照射第二激光束，而在其他区域则封闭所述第二激光束的移动路径不向所述涂覆膜照射所述第二激光束。