[发明专利]带有整流结构的镂空热膜式流量传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种带有整流结构的镂空热膜式流量传感器及其制作方法。带有整流结构的镂空热膜式流量传感器，它包括硅衬底、位于该硅衬底正面并具有加热电阻及多个测温元件的薄膜结构，硅衬底具有绝热空腔，薄膜结构的位于该绝热空腔上方的部分被定义为热膜，薄膜结构具有分别位于热膜上游侧和下游侧且用于将流经的流体整流为平流状态并增加薄膜结构与流体接触面积的两个整流结构。带有整流结构的设计，一方面可将流经热膜的待测流体整流为平流状态，从而提高其探测精度，另一方面增大了待测流体与热膜的接触面积，因此提高了换热效率，从而使得探测灵敏度得到提高。

主权项

1.一种带有整流结构的镂空热膜式流量传感器，它包括硅衬底（1）、位于该硅衬底（1）正面并具有加热电阻（40）及多个测温元件的薄膜结构，所述的硅衬底（1）具有绝热空腔（11），所述薄膜结构的位于该绝热空腔（11）上方的部分被定义为热膜，其特征在于：所述的薄膜结构具有分别位于所述热膜上游侧和下游侧且用于将流经的流体整流为平流状态并增加薄膜结构与流体接触面积的两个整流结构（2）；所述的薄膜结构包括第一层介质薄膜（3）、包括所述加热电阻（40）及多个测温元件的热敏层、第二层介质薄膜（5）、用于将上述加热电阻（40）及多个测温元件与外部信号控制与处理电路相连接的信号引线（6）、钝化层（7）；所述的整流结构（2）包括多个凸台（21）和多个凹槽（22），所述的凸台（21）和凹槽（22）彼此间隔设置，每个所述凸台（21）由热敏长条凸起（44）、所述第二层介质薄膜（5）的位于所述热敏长条凸起（44）上方的部分、所述钝化层（7）的位于所述热敏长条凸起（44）上方的部分构成，每个所述凹槽（22）由所述第二层介质薄膜（5）的位于相邻两个所述热敏长条凸起（44）之间的部分、所述钝化层（7）的位于相邻两个所述热敏长条凸起（44）之间的部分构成，所述的热敏长条凸起（44）的长度方向沿着流体流向设置。