[发明专利]射频自动阻抗匹配器及半导体设备

摘要

公开了一种射频自动阻抗匹配器及半导体设备。所述射频自动阻抗匹配器可包括：射频传感单元，其采集射频传输线上的电压信号和电流信号，并将运算和转换后的多个数字信号输出到控制单元；控制单元，其连接到所述射频传感单元，接收所述射频传感单元的多个数字信号，确定射频传输线的状态并对匹配单元进行调整；以及匹配单元，其连接到所述控制单元，基于所述控制单元的信号调整所述射频自动阻抗匹配器的输入端阻抗。所述射频传感单元可以输出四个不同的数字信号到所述控制单元。

主权项

1.一种射频自动阻抗匹配器，包括：射频传感单元，其采集射频传输线上的电压信号和电流信号，并将运算和转换后的多个数字信号输出到控制单元；控制单元，其连接到所述射频传感单元，接收所述射频传感单元的多个数字信号，确定所述射频传输线的状态并对匹配单元进行调整；以及匹配单元，其连接到所述控制单元，基于所述控制单元的信号调整所述射频自动阻抗匹配器的输入端阻抗，其特征在于，所述射频传感单元输出四个不同的数字信号到所述控制单元；所述射频传感单元包括：90°移相器，其一个输入端输入电压信号，另一个输入端输入电流信号，两个输出端分别连接到第二模拟乘法器的两个输入端；第一模拟乘法器，其一个输入端输入电压信号，另一个输入端输入电流信号，输出第一模拟信号；第二模拟乘法器，其两个输入端分别连接到所述90°移相器的两个输出端，输出第二模拟信号；第三模拟乘法器，其两个输入端输入电流信号，输出第三模拟信号；第四模拟乘法器，其两个输入端输入电压信号，输出第四模拟信号；以及AD转换器，其接收所述第一模拟信号、所述第二模拟信号、所述第三模拟信号以及所述第四模拟信号，分别转换为第一数字信号、第二数字信号、第三数字信号以及第四数字信号，并输出到所述控制单元；所述控制单元确定所述射频传输线的状态包括：在第一差分信号大于等于第一常数或第二差分信号大于等于第二常数的情况下，确定所述射频传输线的状态为有射频功率传输；以及在所述第一差分信号小于所述第一常数并且所述第二差分信号小于所述第二常数的情况下，确定所述射频传输线的状态为无射频功率传输，其中，所述第一差分信号|ΔA2|与所述第二差分信号|ΔA3|分别表示为：|ΔA2|＝A2‑A2(0)|ΔA3|＝A3‑A3(0)其中，A2、A3分别表示所述第三数字信号以及所述第四数字信号，A2(0)、A3(0)分别为所述射频传输线上电压信号V和电流信号I都为0时的第三数字信号以及第四数字信号。