[发明专利]石英腔体的清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 201610356861.2 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107433275B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 赵旭良;汪燕 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英腔体的清洗装置及清洗方法，所述清洗装置包括：包括一清洗腔，设置于清洗腔底部的进液口、排液口以及密封垫，在石英腔体的清洗过程中，所述密封垫与石英腔体的开口接触并密封所述开口，其中，所述进液口和排液口均位于所述开口在清洗腔底部的投影区域内。采用本发明提供的清洗装置对石英腔体进行清洗时，由于密封垫可密封石英腔体的开口，因此清洗液只通入于石英腔体的内部，从而可避免清洗液泄露出，确保石英腔体的外部不被清洗液所侵蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种石英腔体的清洗装置，包括一清洗腔，所述清洗腔用于放置石英腔体以对其进行清洗，其特征在于，所述清洗装置还包括：设置于清洗腔底部的进液口、排液口以及密封垫，在石英腔体的清洗过程中，所述密封垫与石英腔体的开口接触并密封所述开口，其中，所述进液口和排液口均位于所述开口在清洗腔底部的投影区域内。
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