[发明专利]石英腔体的清洗方法在审
| 申请号： | 201610356764.3 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107433274A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 张汝京;林志鑫;季文明;金嵩 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英腔体的清洗方法，包括首先，提供一清洗装置；接着，将待清洗的石英腔体固定于所述清洗装置上，并采用密封组件对连通石英腔体内部和外部的开口或通气孔进行密封，以隔离所述石英腔体的内部和外部；然后，对所述石英腔体的内部和外部分别进行清洗。本发明提供的清洗方法中，在对石英腔体进行清洗液清洗时，由于所述石英腔体的内部和外部隔离，因此可针对石英腔体的内部和外部可分别采用不同的清洗液进行清洗，增加了清洗的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种石英腔体的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：提供一清洗装置；将待清洗的石英腔体固定于所述清洗装置上，并采用密封组件对连通石英腔体内部和外部的开口或通气孔进行密封，以隔离所述石英腔体的内部和外部；以及采用清洗液分别对所述石英腔体的内部和外部进行清洗。
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