[发明专利]一种微流控气体阻尼器及调节方法

摘要

本发明公开了一种微流控气体阻尼器及调节方法，包括上层基片、水平薄膜、中层基片和下层基片。上层基片包含有进气流道、上控制流道和出气流道，中层基片包含有直通流道和垂直薄膜，下层基片包含有下控制流道。其利用水平薄膜和垂直薄膜受气体压迫产生弹性变形来吸收气压的冲击并截流直通流道中的气体流量，以降低微流控系统中气体压力的波动，达到稳定系统工作压力的目的。本发明无需外部设备控制，可自行稳定波动的气体压力，具有体积小、成本低、易集成等优点，在微流控领域中需要提供恒定工作压力和流体流量的场所具有广泛的应用价值。

主权项

一种微流控气体阻尼器，其特征在于：包括由上到下依次设置的上层基片(1)、中层基片(3)和下层基片(4)；所述上层基片(1)上设置有进气流道(8)、上控制流道(5)和出气流道(9)；所述中层基片(3)上设置有直通流道(7)；所述下层基片(4)上设置有下控制流道(6)，其中：所述上控制流道(5)包括第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)；所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)、下控制流道(6)、直通流道(7)的进气端均与进气流道(8)连通，而所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)以及下控制流道(6)的出气端均与直通流道(7)连通；同时所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出气端相对设置，所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出气端相对设置；所述直通流道(7)的出气端与出气流道(9)的进气端连通；所述直通流道(7)与第一上控制流支道(51)出气端的连接处设置有第一弹性阻尼薄膜(21)，所述直通流道(7)与下控制流道(6)出气端的连接处设置有第二弹性阻尼薄膜(22)；所述直通流道(7)与第二上控制流支道(52)出气端的连接处设置有第一垂直薄膜(101)，所述直通流道(7)与第三上控制流支道(53)出气端的连接处设置有第二垂直薄膜(102)。