[发明专利]一种微流控气体阻尼器及调节方法

权利要求书

1.一种微流控气体阻尼器，其特征在于：包括由上到下依次设置的上层基片(1)、中层基片(3)和下层基片(4)；所述上层基片(1)上设置有进气流道(8)、上控制流道(5)和出气流道(9)；所述中层基片(3)上设置有直通流道(7)；所述下层基片(4)上设置有下控制流道(6)，其中：

所述上控制流道(5)包括第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)；所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)、下控制流道(6)、直通流道(7)的进气端均与进气流道(8)连通，而所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)以及下控制流道(6)的出气端均与直通流道(7)连通；同时所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出气端相对设置，所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出气端相对设置；所述直通流道(7)的出气端与出气流道(9)的进气端连通；

所述直通流道(7)与第一上控制流支道(51)出气端的连接处设置有第一弹性阻尼薄膜(21)，所述直通流道(7)与下控制流道(6)出气端的连接处设置有第二弹性阻尼薄膜(22)；所述直通流道(7)与第二上控制流支道(52)出气端的连接处设置有第一垂直薄膜(101)，所述直通流道(7)与第三上控制流支道(53)出气端的连接处设置有第二垂直薄膜(102)。

2.根据权利要求1所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：还包括一个以上的中间气压波动调节机构，所述中间气压波动调节机构包括中间上控制流道和中间下控制流道，所述中间上控制流道包括中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道；所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的进气端分别与直通流道(7)连通；而所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的出气端也分别与直通流道(7)连通；所述中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道的出气端相对设置，所述中间第一上控制流支道、中间下控制流道的出气端相对设置；

所述直通流道与中间第一上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一弹性阻尼薄膜，所述直通流道(7)与中间下控制流道出气端的连接处设置有中间第二弹性阻尼薄膜；所述直通流道(7)与第二上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一垂直薄膜，所述直通流道(7)与中间第三上控制流支道出气端的连接处设置有中间第二垂直薄膜。

3.根据权利要求2所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：所述上层基片(1)、中层基片(3)之间设置有第一水平薄膜(210)；所述第一水平薄膜(210)上设置有第一通孔(211)、第二通孔(212)、第三通孔(213)、第四通孔(214)、第六通孔、第七通孔、第八通孔、第九通孔；所述进气流道(8)与直通流道(7)之间通过第一通孔(211)连通，所述出气流道(9)与直通流道(7)之间通过第四通孔(214)连通；所述第二上控制流支道(52)与直通流道(7)之间通过第二通孔(212)连通，第三上控制流支道(53)与直通流道(7)之间通过第三通孔(213)连通；所述中间第二上控制流支道的进气端与直通流道(7)之间通过第六通孔连通，而中间第二上控制流支道的出气端与直通流道(7)之间通过第七通孔连通；所述中间第三上控制流支道的进气端与直通流道(7)之间通过第八通孔连通，而中间第三上控制流支道的出气端与直通流道(7)之间通过第九通孔连通；而所述第一弹性阻尼薄膜(21)、中间第一弹性阻尼薄膜为第一水平薄膜(210)的一部分。

4.根据权利要求3所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：所述中层基片(3)和下层基片(4)之间设置有第二水平薄膜(220)，所述第二水平薄膜(220)设置有第五通孔(221)、第十通孔和第十一通孔，所述下控制流道(6)与进气流道(8)之间通过第五通孔(221)连通；所述中间下控制流道的进气端与直通流道(7)之间通过第十通孔连通，而中间下控制流道的出气端与直通流道(7)之间通过第十一通孔连通；所述第二弹性阻尼薄膜(22)、中间第二弹性阻尼薄膜为第二水平薄膜(220)的一部分。