[发明专利]一种利用配比酸液在低温下反应增强P型结染色效果的方法

摘要

本发明的目的是提供一种利用新配比酸液在低温下反应增强P型结染色效果的新方法，该方法使用一种新配比的酸液，酸液的成分为HF、HNO3、CH3COOH的体积比为1315的混合液。使用该酸液在较低的温度下进行反应，可以促使P型结反应速率加快，从而观测到P型结的结构。该方法反应迅速，效率高，观测效果好。

主权项

一种利用配比酸液在低温下反应增强P型结染色效果的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)多晶硅酸液的配置：将HF、HNO3以及CH3COOH依次注入烧杯中，搅拌混合均匀，即得多晶硅酸液；(2)制备SRAM PMOS的横截面，然后将上一步配置的多晶硅酸液降温，将样品放入多晶硅酸液中进行反应；(3)反应结束后，将样品置于FIB中制备成TEM样品，或制备成SEM样品；所述步骤1中HF、HNO3、CH3COOH的摩尔比为1:3:15；所述步骤2中，多晶硅酸液降温所达到的温度为‑2‑2℃。