[发明专利]一种高温扩散装置有效
| 申请号： | 201610317130.7 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105839190B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈德榜 | 申请（专利权）人： | 温州海旭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市经*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温扩散装置，包括炉体，炉体的一端为炉口，另一端为封闭结构，在炉口处设有炉盖，在炉体的内部设有石英舟，在石英舟上均匀放置有硅片，在炉体的上端设有第一工艺进气口、第二工艺进气口和第三工艺进气口，在炉体的下端设有尾气排放口，还包括气体稳流装置，气体稳流装置设置在炉口、炉中或炉尾位置，本发明结构简单，能够提高炉体内气体流动的稳定性，确保了硅片扩散的均匀性，从而确保硅片方块电阻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 进气口 高温扩散 稳流装置 均匀性 石英舟 硅片 炉口 尾气排放口 方块电阻 封闭结构 硅片扩散 均匀放置 体内气体 炉口处 上端 炉盖 炉尾 炉中 下端 流动 | ||
【主权项】：
1.一种高温扩散装置, 包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的一端为炉口（2），另一端炉尾（3）为封闭结构，在所述炉口（2）处设有炉盖（4），在所述炉体（1）的内部设有石英舟（5），在所述石英舟（5）上均匀放置有硅片，在所述炉体（1）的上端设有第一工艺进气口（6）、第二工艺进气口（7）和第三工艺进气口（8），在所述炉体（1）的下端设有尾气排放口（9），还包括气体稳流装置（10），所述气体稳流装置（10）设置在炉口（2）、炉中（11）或炉尾（3）位置;所述气体稳流装置（10）包括稳流体（12）、进气口（13）、蜂窝片（14）、气体调整器（15）、出气口（16）和过滤片（17），所述稳流体（12）的一端设有进气口（13），所述稳流体（12）的另一端设有出气口（16），所述稳流体（12）的内部设有蜂窝片（14）、气体调整器（15），所述蜂窝片（14）位于进气口（13）的一端，所述蜂窝片（14）连接气体调整器（15），所述气体调整器（15）的出口通过过滤片（17）连接出气口（16），所述气体调整器（15）内包括多个气流调节格栅（18），且所述气流调节格栅（18）呈锥形;所述第一工艺进气口（6）、第二工艺进气口（7）和第三工艺进气口（8）分别设置在炉口（2）、炉中（11）、炉尾（3）处;或所述第一工艺进气口（6）、第二工艺进气口（7）和第三工艺进气口（8）均设置在炉中（11）;或所述第一工艺进气口（6）、第二工艺进气口（7）和第三工艺进气口（8）均设置在炉口（2）;所述第一工艺进气口（6）、第二工艺进气口（7）和第三工艺进气口（8）的孔径一致，均为2.5mm‑3mm。
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