[发明专利]激光聚焦光斑定位方法及装置有效

专利信息
申请号: 201610304773.8 申请日: 2016-05-10
公开(公告)号: CN105855696B 公开(公告)日: 2018-05-22
发明(设计)人: 王宁;杨小君;康伟;田冰心 申请(专利权)人: 西安中科微精光子制造科技有限公司
主分类号: B23K26/042 分类号: B23K26/042
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 郝明琴
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种激光聚焦光斑定位装置,其包括至少具有X轴、Y轴、Z轴和工作台的机床、设置于所述Z轴的扫描头、设置于所述扫描头下方的聚焦镜、用于夹持一个标准块进行定位的夹具及传感器,所述工作台设置于所述X轴和所述Y轴、且通过所述X轴和所述Y轴实现移动,所述夹具和所述传感器均设置于所述工作台,所述传感器获取所述聚焦镜聚焦形成的激光聚焦光斑的坐标。本发明还提供一种激光聚焦光斑定位方法,采用非接触的方式将激光聚焦光斑位置和工件被加工区域的位置相重合,克服了接触式测量中对加工工件定位不准确的问题,从而可实现高精度的加工定位。所述激光聚焦光斑定位装置结构简单,易于操作实现所述激光聚焦光斑定位方法。
搜索关键词: 激光 聚焦 光斑 定位 方法 装置
【主权项】:
1.一种激光聚焦光斑定位方法,其特征在于,包括如下步骤:S101、将安装有标准块的夹具通过机床的工作台移动至聚焦镜的下方,使用所述机床在所述标准块距离所述夹具的原点较近的位置画一个第一标记圆,记录所述机床的X轴坐标和Y轴坐标;S102、将所述标准块取下,并置于测量显微镜下,通过拟合的方式获取所述第一标记圆的中心坐标,使用所述显微镜的测距功能分别测出所述第一标记圆的圆心距离所述标准块的X边的距离和所述第一标记圆的圆心距离所述标准块的Y边的距离,即获得激光聚焦光斑相对于所述夹具的原点的坐标和激光聚焦光斑在所述机床中的坐标;S103、将安装在所述机床的工作台上的传感器移动至所述聚焦镜的下方,使用所述机床以传感器的靶面的中心坐标为圆心画一个第二标记圆,记录所述机床的坐标,即所述传感器在所述机床中的坐标,进而可获得所述传感器的中心坐标和所述夹具的原点的位置关系;S104、使用所述传感器确定所述聚焦光斑的位置坐标,再将其和加工件在所述机床上的坐标进行换算。
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