[发明专利]一种梯度掺杂AZO薄膜的制备方法及其应用有效

专利信息
申请号: 201610300455.4 申请日: 2016-05-09
公开(公告)号: CN105914299B 公开(公告)日: 2019-03-19
发明(设计)人: 余璇;于晓明;陈立桥;潘洪军 申请(专利权)人: 浙江海洋大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/42
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏
地址: 316000 浙江省舟*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种梯度掺杂AZO薄膜的制备方法,ITO/AZO薄膜一/AZO薄膜二/AZO薄膜三/P3HT:PCBM,作为倒结构聚合物太阳电池中的电子传输层,不但能够提高AZO薄膜的结构特性,提高AZO薄膜导电性的纵向均匀性,而且在大气环境下即可制备完成,有效降低电池内部载流子复合机率,显著提高电池短路电流密度和填充因子,实现电池光电转换效率的大幅提升。特别是该方法简单易行,与商业化大面积生产制备工艺兼容,从而能够加快倒结构聚合物太阳电池的产业化进程,满足社会需求。
搜索关键词: 一种 梯度 掺杂 azo 薄膜 制备 方法 及其 应用
【主权项】:
1.一种梯度掺杂AZO薄膜的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:a)称取1‑3克二水合醋酸锌和0.01‑0.1克九水合硝酸铝溶解在10‑30毫升乙醇溶液中;取0.1‑0.5毫升单乙醇胺加入溶液,制备Al‑Zn原子比分别为0.1‑0.5at%前驱液A、0.6‑1.0at%前驱液B与1.1‑1.5at%前驱液C,将配置好的溶液在20‑80℃下搅拌0.1‑1h,在室温条件下陈化24 h,待用;b)将ITO玻璃衬底浸入附着力促进液中,超声处理45‑60min;然后取出加入丙酮超声处理15‑30min,取出后使用去离子水冲洗,然后使用氮气将基板吹干,再进行旋涂前驱液;附着力促进液由以下重量份的原料组成:羟乙基纤维素10‑15份、正硅酸甲酯20‑35份、海藻泥5‑10份、乙酸乙酯80‑100份、硅烷偶联剂15‑25份与醋酸0.1‑0.3份;然后将前驱液A旋涂在洗净并烘干的ITO玻璃衬底上,匀胶机转速为2000‑3000rpm,旋涂时间为10‑40s,在200‑300℃热板上加热30‑50min,得到AZO薄膜一;将前驱液B旋涂在AZO薄膜一上,并将AZO薄膜一的制备方法重复,制备得到AZO薄膜二;将前驱液C滴在AZO薄膜二的表面上, 然后AZO薄膜一的制备方法重复,制备得到AZO薄膜三;得到梯度掺杂AZO薄膜样品,待AZO薄膜样品冷却至室温后,超声处理10 min,去离子水冲洗后,氮气吹干,待用;c)将质量比为 1:0.8的给体材料与受体材料溶解在1毫升氯苯溶液中配置成活性层溶液,避光30‑50℃下加热搅拌12小时后,得到活性层溶液,将活性层溶液滴涂在AZO薄膜样品上,设置匀胶机转速为500‑1000rpm旋涂时间为15‑30s,80‑120℃热板上进1‑20min退火处理;d)将步骤c)得到的样品放入镀膜机中,在10‑4 Pa条件下蒸镀1‑10nm MoO3 和50‑100nm Ag电极。
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