[发明专利]利用真空与喷射蒸汽对阳极氧化膜封孔的封孔设备与方法在审
| 申请号： | 201610298337.4 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN107268060A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 姜文兴;陈建仲 | 申请（专利权）人： | 科闳电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/24 | 分类号： | C25D11/24 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用真空与喷射蒸汽对阳极氧化膜封孔的封孔设备与方法，包含步骤首先利用真空泵将阳极氧化膜的纳米管内残留水气与气体抽除，再利用喷射蒸汽机将封孔剂喷洒入放置在封孔腔体内的阳极氧化膜的纳米管内，使阳极氧化膜达到封孔的效果。利用本发明的封孔设备与封孔方法可使阳极氧化膜获得极高的封孔效果。本发明的封孔设备与封孔方法适用于对半导体设备组件进行表面处理，进而增加半导体设备组件在等离子体环境中的使用寿命，进而降低真空镀膜的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 真空 喷射 蒸汽 阳极 氧化 膜封孔 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种利用真空与喷射蒸汽的封孔设备，其特征在于，所述封孔设备包含：一封孔腔体，用于容置一具有阳极氧化膜的阳极处理工件；一加热炉，用于将所述封孔腔体维持在一特定温度；一真空泵，与所述封孔腔体连接，用于将所述封孔腔体内部抽至负压状态；以及一喷射蒸汽机，与所述封孔腔体连接，用于将一封孔剂喷射进入所述封孔腔体内，以将所述封孔腔体内由所述负压状态转为正压状态，其中所述封孔剂填补所述阳极处理工件的所述阳极氧化膜的孔洞。
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