[发明专利]一种光阻回收利用装置在审
| 申请号： | 201610286026.6 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107340692A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 王丽鹤 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/30 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻工艺的技术领域，具体地说是一种光阻回收利用装置。包括光阻瓶、缓存罐、回收盒、泵及过滤器，其中，所述光阻瓶与氮气管路连通，所述缓存罐通过供胶管路与所述光阻瓶连通，所述缓存罐通过排胶管路依次与泵、过滤器和涂胶单元连通；所述回收盒通过排泡管路I和排泡管路II分别与所述缓存罐的顶部及所述过滤器的顶部连通；所述回收盒通过回收管路与所述光阻瓶连通；所述氮气管路、排泡管路I、排泡管路II及回收管路上均设有通断阀。本发明可以很好的将可再利用光阻收回到胶瓶内再利用，避免不必要的浪费，达到相同光阻产出更多效益的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 利用 装置 | ||
【主权项】：
一种光阻回收利用装置，其特征在于，包括光阻瓶(A)、缓存罐(B)、回收盒(C)、泵(D)及过滤器(E)，其中，所述光阻瓶(A)与氮气管路连通，所述缓存罐(B)通过供胶管路(6)与所述光阻瓶(A)连通，所述缓存罐(B)通过排胶管路依次与泵(D)、过滤器(E)和涂胶单元(G)连通；所述回收盒(C)通过排泡管路I(7)和排泡管路II(9)分别与所述缓存罐(B)的顶部及所述过滤器(E)的顶部连通；所述回收盒(C)通过回收管路(10)与所述光阻瓶(A)连通；所述氮气管路、排泡管路I(7)、排泡管路II(9)及回收管路(10)上均设有通断阀。
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