[发明专利]一种石墨烯片上可调电感及其制造方法有效
| 申请号： | 201610285163.8 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN105914201B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;占必红 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)42222 | 代理人： | 肖珍 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯片上可调电感及其制造方法，包括石墨烯线圈层、绝缘介质层、电极控制层、以及衬底，石墨烯线圈层为片上电感的主体部分，设于衬底上方；绝缘介质层覆盖在石墨烯线圈层上；电极控制层位于绝缘介质层上并处于石墨烯线圈正上方；通过电极控制层在石墨烯线圈上施加可变栅压，石墨烯线圈层的电感值随之发生改变；首先在催化膜上生长出层状石墨烯；然后将层状石墨烯转移至衬底上；将石墨烯膜图形化成石墨烯电感线圈；在石墨烯电感线圈上淀积一层的绝缘介质层；在绝缘介质层上沉积一层导电膜；将绝缘介质层上的导电膜刻蚀成与石墨烯电感线圈尺寸一致的线圈结构，本发明电感值连续可调，其可调范围大、电调速度快，工作稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯片上 可调 电感 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯片上可调电感，包括石墨烯电感线圈（2）、绝缘介质层（3）、电极控制层（4）、以及衬底（1），其特征在于：所述石墨烯电感线圈（2）为片上电感的主体部分，设于衬底（1）上方；所述绝缘介质层（3）覆盖在石墨烯电感线圈（2）上；所述电极控制层（4）为片上电感的控制部分，位于绝缘介质层（3）上并处于石墨烯电感线圈（2）正上方；通过电极控制层（4）在石墨烯电感线圈（2）上施加可变栅压，石墨烯电感线圈（2）的电感值随之发生改变。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉大学，未经武汉大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610285163.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
