[发明专利]微定位间隙传感器组件

摘要

本发明涉及一种微定位间隙传感器组件，其包括结构壳体和固定连接并形成防止流体进入的屏障的挠性隔膜。所述结构壳体包括与述挠性隔膜垂直连接的轴、具有一个或多个支柱的第一保持件、第二保持件和平行板间隙传感器。所述平行板间隙传感器包括非接触感测板和目标板，所述非接触感测板偏压在第一保持件的限定所述非接触感测板的平面的一部分上并且从第二保持件接收第一保持件的反向偏压力，所述目标板由导电的顺磁性材料构成。所述平行板间隙传感器构造成使得所述目标板或所述非接触感测板之一的位移改变所述目标板与所述非接触感测板之间的距离。

主权项

1.一种微定位间隙传感器组件，包括：结构壳体；挠性隔膜，所述挠性隔膜固定连接在所述结构壳体的第一端，从而形成防止流体进入所述结构壳体的屏障；轴，所述轴与所述挠性隔膜垂直连接；第一保持件；第二保持件；以及板间隙传感器，所述板间隙传感器包括：非接触感测板，所述非接触感测板的第一面偏压在保持所述非接触感测板的第一保持件的一部分上并且从保持所述非接触感测板的第二保持件接收第一保持件的反向偏压力；和目标板，所述目标板邻近所述非接触感测板并与其隔开一定间隙；其中所述板间隙传感器构造成使得所述目标板或所述非接触感测板中的一者与所述轴连接并且构造成随着所述轴的移动而移动，其中所述轴的移动引起的所述目标板或所述非接触感测板中的一者的位移改变所述目标板与所述非接触感测板之间的距离，并且其中偏压力对所述目标板或所述非接触感测板中的另一者施加偏压，从而在位移过程中维持所述间隙。