[发明专利]磁性材料真空镀膜装置在审
| 申请号： | 201610245766.5 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN105821381A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 张果;蓝峰;王伟;何林;周景波;李多磊 | 申请（专利权）人： | 爱发科东方真空（成都）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人： | 冯忠亮 |
| 地址： | 611731 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明为磁性材料真空镀膜装置，解决表面热浸电镀铝造成大量污染的问题。水平对称布置的第一、二网状滚筒（5、6）位于中孔状隔板（2）中孔部，在上室水平布置两根棒式等离子发生装置（7、8），若干BN蒸发舟（9）设置在下室（3）并与第一、二网状滚筒（5、6）之间相隔一定的蒸发距离，第一、二网状滚筒（5、6）的下部分处于蒸发舟（9）的蒸镀范围内，送丝机构（10）与BN蒸发舟（9）、蒸发电极（11）连接为一个整体，旋片真空泵（12）、罗茨真空泵（13）、高真空油扩散泵（14）、超低温装置（15）、充氩气装置（16）分别通过管道与真空室连接，每个网状滚筒又设置多个独立的装载区，网状滚筒通过变频减速电机驱动实现转动并可实现转速可调。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性材料 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
磁性材料真空镀膜装置，其特征在于真空室（1）由中孔状隔板（2）分隔为上室（3）和下室（4），水平布置的至少一个网状滚筒位于中孔状隔板（2）中孔部，在上室水平布置至少一个等离子发生装置，若干BN蒸发舟（9）设置在下室（3）并与网状滚筒之间相隔蒸发距离，网状滚筒的下部分处于蒸发舟（9）的蒸镀范围内，下室有送丝机构（10）、蒸发电极（11）与BN蒸发舟（9）配合 ，真空室（1）外有真空泵、充氩气装置（16）分别通过管道与真空室连接，网状滚筒分隔成若干独立的磁性材料装载区。
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