[发明专利]一种基于声光低频差移相的双孔外差干涉仪

摘要

本发明公开了一种基于声光低频差移相的双孔外差干涉仪，其采用声光移频器外差干涉移相，探测器连续采集同一光路干涉图，不存在多幅干涉图样配准的问题，测量精度进一步提高；此外，还采用低频差外差干涉与高速相机连续采集，获得的信息量更丰富，更有利于精确解算相位，更有利于克服噪声等因素影响。

主权项

1.一种基于声光低频差移相的双孔外差干涉仪，其特征在于，包括：激光器、两块半波片、偏振分光镜、两个声光移频器、两个光纤耦合器、两根保偏光纤、两个分光镜、准直镜、标准镜、待测镜、滤波孔、两个成像镜及两个探测器；其中：激光器出射激光经过半波片1后射入偏振分光镜，由偏振分光镜将入射激光分为两束激光；其中一束激光经过声光移频器1后由光纤耦合器1耦合进入保偏光纤1；另一束激光依次经过半波片2与声光移频器2后由光纤耦合器2耦合进入保偏光纤2；通过调整标准镜和待测镜的倾斜，使保偏光纤2出射的激光依次通过分光镜1、准直镜与标准镜后射入待测镜，经待测镜反射后原路返回，并被分光镜1反射至滤波孔；使保偏光纤1出射的激光依次通过分光镜1与准直镜后射入标准镜，经标准镜反射后原路返回，并被分光镜1反射至滤波孔；射入滤波孔的两束激光经过分光镜2后被分为两路；其中一路作为调整监视光路，经过成像镜1射入探测器1中；另一路作为采集干涉图光路经过成像镜2射入探测器2中。