[发明专利]一种蒸镀罩和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201610228686.9 | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN105755432B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李晓虎;孙中元;王路;朱海彬 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种蒸镀罩，其包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚和上述所述的蒸镀罩，所述蒸镀罩设于所述蒸镀坩埚的上方。本发明实施例的蒸镀罩能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀罩 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀工艺，其特征在于，包括：收集步骤：在蒸镀步骤结束后，通过驱动电机驱动蒸镀罩移至蒸镀坩埚的上方，进行蒸镀材料的收集工作，其中，所述蒸镀罩包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；蒸镀步骤：需要蒸镀时，通过驱动电机驱动所述蒸镀罩离开蒸镀坩埚的上方，进行蒸镀工作。
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