[发明专利]酸性铜电镀浴以及用于电镀低内应力和优良延展性的铜沉积物的方法在审
| 申请号： | 201610224165.6 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN106086954A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | L·魏;R·阿兹布鲁克;B·利布;Y-H·高;M·列斐伏尔;R·A·科罗纳 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 酸性铜电镀浴提供具有优良延展性的改进的低内应力铜沉积物。所述酸性铜电镀浴包括一种或多种支化聚亚烷基亚胺和一种或多种促进剂。所述酸性铜电镀浴可用于在相对薄的衬底上电镀薄膜以提供具有低内应力和高延展性的薄膜铜沉积物。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性 电镀 以及 用于 内应力 优良 延展性 沉积物 方法 | ||
【主权项】：
一种酸性铜电镀浴，包含一种或多种铜离子源、电解质、一种或多种支化聚亚烷基亚胺、一种或多种促进剂和一种或多种抑制剂。
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