[发明专利]压印系统及物品的制造方法有效
申请号: | 201610154452.4 | 申请日: | 2016-03-17 |
公开(公告)号: | CN105988287B | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 山崎拓郎;船吉智美;藤本正敬;山口裕充 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;H01L21/027 |
代理公司: | 11293 北京怡丰知识产权代理有限公司 | 代理人: | 迟军 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供压印系统及物品的制造方法。所述压印系统进行通过使用模具来使基板上的压印材料形成图案的压印处理,并且所述压印系统包括:多个处理单元,其各自包括将所述压印材料供给到所述基板上的分配器,并且被构造为进行所述压印处理;库,其被构造为管理多个布局信息;以及控制单元,其被构造为在由第一处理单元使用的模具被第二处理单元使用的情况下,基于所述第一处理单元与所述第二处理单元之间的所述压印处理的条件的差异,通过使用具有与针对由所述第一处理单元使用的布局信息的所述压印处理的条件的差异相对应的差异的布局信息,来控制所述第二处理单元。 | ||
搜索关键词: | 压印 系统 物品 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种压印系统,其进行通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印处理,所述压印系统包括:/n包括第一处理单元和第二处理单元的多个处理单元,其各自具有被构造为将压印材料供给到所述基板的投射区域上的分配器,并且被构造为进行所述压印处理;/n库,其被构造为管理彼此不同的多个布局信息,所述多个布局信息中的各个表示要从所述分配器供给到投射区域上的所述压印材料的布局;以及/n控制单元,其被构造为控制所述多个处理单元,/n其中,在已经被所述第一处理单元使用的模具要被所述第二处理单元使用的情况下,所述控制单元:/n基于所述第一处理单元与所述第二处理单元之间的所述压印处理的条件的差异,从由所述库管理的多个布局信息中,选择与已经被所述第一处理单元使用的第一布局信息不同的布局信息,作为要被所述第二处理单元使用的第二布局信息,和/n基于所选择的第二布局信息,控制所述第二处理单元以将压印材料从所述分配器供给到投射区域。/n
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