[发明专利]一种单晶炉的炉盖在审
申请号: | 201610151794.0 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN105671643A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 潘清跃;王平 | 申请(专利权)人: | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213200 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种单晶炉的炉盖,包括炉盖主体、过流阀、出气管、气体处理装置和定位机构,所述的炉盖主体呈向上凸的弧形,所述的炉盖主体内设置有空心腔体,所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座,所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处,所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道,所述的过流通道与空心腔体相连通,所述的过流阀安装在过流通道内,所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通,所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处,所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种单晶炉的炉盖,其特征在于:包括炉盖主体(1),所述的炉盖主体(1)呈向上凸的弧形,所述的炉盖主体(1)内设置有空心腔体(2),所述的炉盖主体(1)下端的两侧设置有连接座(3),所述的炉盖主体(1)通过两侧的连接座(3)安装在炉体的上沿处,过流阀(4),所述的炉盖主体(1)的弧形内壁上开设有过流通道(5),所述的过流通道(5)与空心腔体(2)相连通,所述的过流阀安装在过流通道(5)内,出气管(6),所述的出气管(6)穿过炉盖主体(1)的上侧壁与空心腔体2相连通,气体处理装置(7),所述的气体处理装置(7)安装在出气管(6)的出气口处,定位机构,所述的定位机构设置在连接座(3)与炉体的上沿之间。
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