[发明专利]一种可调谐微测辐射热计像元结构及像元阵列

摘要

本发明涉及一种可调谐微测辐射热计像元结构，包括衬底、底部电极、反射层和吸收层，底部电极固定置于衬底的上端面上，衬底上设置有立柱，立柱上固定设置有第一支撑装置，吸收层与第一支撑装置固定连接，且所述吸收层处于底部电极的上方，吸收层的上端固定设置有热敏材料；反射层置于底部电极和吸收层之间，反射层通过可移动的第二支撑装置与立柱连接，反射层与吸收层之间构成法布里‑珀罗谐振腔；反射层接入基准电位，底部电极接入静电驱动电压，反射层和底部电极之间形成静电力推动反射层纵向移动。相对现有技术，本发明能改善法布里‑珀罗谐振腔的平行度、收窄了吸收带宽、提高了吸收率、降低静电驱动电压。

主权项

1.一种可调谐微测辐射热计像元阵列，其特征在于：包括像元结构，所述像元结构设置有多个，多个所述像元结构的反射层(13)共用一个或多个第二支撑装置(16)，形成反射层(13)平面内的多支撑结构；像元结构包括衬底(11)、底部电极(12)、反射层(13)和吸收层(14)，所述底部电极(12)固定置于所述衬底(11)的上端面上，所述衬底(11)上设置有立柱，所述立柱上固定设置有第一支撑装置(17)，所述吸收层(14)与所述第一支撑装置(17)固定连接，且所述吸收层(14)处于所述底部电极(12)的上方，所述吸收层(14)的上端固定设置有热敏材料(15)；所述反射层(13)置于所述底部电极(12)和吸收层(14)之间，所述反射层(13)通过可移动的第二支撑装置(16)与所述立柱连接，所述反射层(13)与所述吸收层(14)之间构成法布里‑珀罗谐振腔；所述反射层(13)接入基准电位，所述底部电极(12)接入静电驱动电压，所述反射层(13)和底部电极(12)之间形成静电力推动反射层(13)纵向移动；所述静电驱动电压V：其中n为第二支撑装置(16)数目，E为第二支撑装置(16)的弹性模量，S′为单个第二支撑装置(16)的横截面积，L′为单个第二支撑装置(16)的长度，Δd为腔长变化量，d为初始腔长，∈为真空介电常数，S为反射层(13)与底部电极(12)的正对面积；所述热敏材料(15)吸收并转化红外辐射能量；多个所述像元结构排列组成像元阵列结构。