[发明专利]一种靶材用高纯钽板的热处理方法有效
| 申请号： | 201610042110.3 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105441846B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘施峰;柳亚辉;邓超;刘庆;姚力军;王学泽 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C22F1/02 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)50216 | 代理人： | 陈千 |
| 地址： | 400044 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开一种靶材用高纯钽板的热处理方法，将钽板靶坯进行塑性变形后，将其于800℃～900℃条件下恒温热处理60min～90min，取出进行第一次淬火；再于1200℃～1300℃条件下恒温热处理60min～90min，取出进行第二次淬火，得到高纯钽板靶材成品。采用本发明的方法，通过对钽板靶坯进行低温退火、第一次淬火、高温退火和第二次淬火，能细化靶材的晶粒，优化组织，因而能获得性能符合要求和质量稳定的高纯钽板溅射靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材用 高纯 热处理 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材用高纯钽板的热处理方法，其特征在于：将钽板靶坯进行塑性变形后，将其于800℃～900℃条件下恒温热处理60min～90min，取出进行第一次淬火；再于1200℃～1300℃条件下恒温热处理60min～90min，取出进行第二次淬火，得到高纯钽板靶材成品；所述第一次淬火和第二次淬火均采用水淬。
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