[发明专利]压电振子、包括该压电振子的驱动器及微动台

摘要

本发明公开了一种压电振子、包括该压电振子的驱动器及微动台，属于压电技术领域，所述压电振子为沿高度方向层叠形成的多层压电陶瓷，其中：所述多层压电陶瓷的相邻压电陶瓷层的极化方向相反，所述多层压电陶瓷的宽度方向的一侧表面上的两侧分别设置有相间隔的第一外电极正极和第二外电极正极，所述多层压电陶瓷的宽度方向的另一侧表面上设置有外电极负极；所述多层压电陶瓷的高度方向的一侧表面的中部，且位于第一外电极正极和第二外电极正极之间设置有陶瓷触点。与现有技术相比，本发明具有驱动电压小、稳定性高、寿命长、灵活性好、结构简单、能量利用率高的优点。

主权项

1.一种压电振子，其特征在于，所述压电振子为沿高度方向层叠形成的多层压电陶瓷，其中：所述多层压电陶瓷的相邻压电陶瓷层的极化方向相反，所述多层压电陶瓷的宽度方向的一侧表面上的两侧分别设置有相间隔的第一外电极正极和第二外电极正极，所述多层压电陶瓷的宽度方向的另一侧表面上设置有外电极负极；所述第一外电极正极和第二外电极正极之间的区域是没有刷电极的区域；所述多层压电陶瓷的高度方向的一侧表面的中部，且位于第一外电极正极和第二外电极正极之间设置有陶瓷触点；其中，所述陶瓷触点位于第一外电极正极和第二外电极正极之间没有刷电极的区域的上方；当对所述多层压电陶瓷的第一外电极正极施加正向电压，第二外电极正极和外电极负极施加零电压时，所述第一外电极所在区域的压电陶瓷会发生d₃₃形式的变形，从而导致所述陶瓷触点产生倾斜，当对所述多层压电陶瓷的第一外电极正极和第二外电极正极施加相位差90°的正弦信号时，所述陶瓷触点会产生连续的倾斜运动，进而通过所述陶瓷触点与外部的动子之间的摩擦力产生驱动力。