[发明专利]含有热碱产生剂的可光成像组合物

摘要

根据本发明的实施方式包含正色调、可水显影、可自成像的聚合物组合物，其用于形成能够图案化以产生用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。

主权项

1.一种可光成像的可水显影的正色调组合物，其包含：a)聚合物，其具有一种或多种由式(IA)表示的第一类型的重复单元，所述第一类型的重复单元衍生自式(I)的单体：其中：m为0、1或2的整数；R1、R2、R3及R4相同或不同，且各自独立地表示氢、卤素、或选自直链或支链(C1‑C12)烷基、羟基(C1‑C12)烷基、全氟(C1‑C12)烷基、(C3‑C12)环烷基、(C6‑C12)双环烷基、(C7‑C14)三环烷基、(C6‑C10)芳基、(C6‑C10)芳基(C1‑C6)烷基、全氟(C6‑C10)芳基、全氟(C6‑C10)芳基(C1‑C3)烷基、(C5‑C10)杂芳基、(C5‑C10)杂芳基(C1‑C3)烷基、羟基、(C1‑C12)烷氧基、(C3‑C12)环烷氧基、(C6‑C12)双环烷氧基、(C7‑C14)三环烷氧基、(C6‑C10)芳氧基(C1‑C3)烷基、(C5‑C10)杂芳氧基(C1‑C3)烷基、(C6‑C10)芳氧基、(C5‑C10)杂芳氧基及(C1‑C6)酰氧基的烃基或卤代烃基、‑(CH2)a‑CO2R或式(A)的基团：‑(CH2)b‑(OCH2‑CH2)c‑OR            (A)；或式(B)的基团：其中：a为0至4的整数；b为0、1、2、3或4的整数；c为0、1、2、3或4的整数；且R为氢、直链或支链(C1‑C6)烷基、(C5‑C8)环烷基、(C6‑C10)芳基或(C7‑C12)芳烷基；及由式(IIA)或(IIB)表示的第二类型的重复单元，所述第二类型的重复单元衍生自式(II)的单体：其中：R5、R6、R7及R8各自彼此独立地为氢或选自直链或支链(C1‑C9)烷基、氟化或全氟化(C1‑C9)烷基、(C1‑C12)烷氧基(C1‑C12)烷基及(C1‑C12)烷氧基(C1‑C12)烷氧基(C1‑C12)烷基的烃基或卤代烃基；且其中，在价态允许的情况下，前述基团的每一个任选被一个或多个选自以下的基团取代：直链或支链(C1‑C6)烷基、(C3‑C7)环烷基、(C1‑C6)全氟烷基、(C1‑C6)烷氧基、(C3‑C7)环烷氧基、(C1‑C6)全氟烷氧基、卤素、羟基、直链或支链羟基(C1‑C6)烷基、乙酰氧基、苯基、羟基苯基及乙酰氧基苯基；b)热碱产生剂，选自(i)式(III)的化合物：(ii)式(IV)的化合物：(iii)式(V)的化合物：以及(iv)式(VI)的化合物：其中：R9、R10及R11相同或不同，且各自彼此独立地选自氢、直链或支链(C1‑C16)烷基、氰基(C1‑C16)烷基、氰基(C1‑C16)烷氧基(C1‑C16)烷基、(C6‑C10)芳基、(C6‑C10)芳基(C1‑C3)烷基、全氟(C6‑C10)芳基、全氟(C6‑C10)芳基(C1‑C3)烷基、(C1‑C12)烷氧基(C1‑C8)烷基、(C6‑C10)芳氧基(C1‑C3)烷基、(C5‑C10)杂芳氧基(C1‑C3)烷基、(C6‑C10)芳氧基、(C5‑C10)杂芳氧基及(C1‑C6)酰氧基；R12选自(C1‑C6)烷氧基羰基、(C6‑C10)芳基(C1‑C6)烷氧基羰基、(C6‑C10)芳氧基羰基及氰基(C1‑C6)烷基；R16为氢或(C1‑C6)烷基；R13、R14及R17相同或不同，且各自彼此独立地选自：氢，甲基，乙基，直链、支链或环状(C3‑C12)烷基，具有1至4个独立地选自氮、氧和硫的杂原子的直链、支链或环状(C3‑C12)杂烷基，(C6‑C10)芳基，和具有1至4个独立地选自氮、氧和硫的杂原子的(C5‑C10)杂芳基；或者其中R16、R17、R13及R14与任意中间原子且以其任意组合一起形成一个或多个环烷基或杂烷基；R15为氢或(C1‑C6)烷基；且为卤化物、磺酸根、甲磺酸根、三氟甲磺酸根或羧酸根阴离子；c)光活性化合物；及d)载体溶剂。