[发明专利]样品台有效
| 申请号： | 201580067912.3 | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN107430973B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 格哈杜斯·伯纳德瑞斯·斯塔姆斯尼德;保罗·科内利斯·玛丽亚·万登伯斯;托恩·安东尼厄斯·科内利斯·亨利库斯·克鲁伊特曼斯;桑德尔·理查德·玛丽·斯多克斯;阿德里安努斯·弗朗西斯库斯·约翰内斯·哈姆曼;卡雷尔·迪德里克·万登马斯特 | 申请（专利权）人： | 飞纳世界控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种样品台，例如用于在扫描电子显微镜中使用。该样品台包括基底、样品载体和致动器组件，该致动器组件布置成用于沿大体上平行于基底的至少一个方向移动样品载体。致动器组件布置成对样品台从样品载体到基底的机械刚度不起作用。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 | ||
【主权项】：
样品台，包括：基底；样品载体；以及致动器组件，布置成用于沿大体上平行于所述基底的至少一个方向移动所述样品载体，其中所述致动器组件对所述样品台从所述样品载体到所述基底的机械刚度不起作用。
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